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Journal Européen des Systèmes Automatisés

1269-6935
Revues des Systèmes
 

 ARTICLE VOL 49/2 - 2016  - pp.161-180  - doi:10.3166/JESA.49.161-180
TITRE
Détection de micro-défauts process, situés à l'intérieur des limites de surveillance d'une carte de contrôle. Application à la fabrication de wafer en microélectronique

TITLE
Detection of process microdefects, within the warning limits of a control chart. Application to the wafer manufacturing in the semiconductor industry

RÉSUMÉ

Après avoir décrit la complexité des processus de production dans l’industrie du semi-conducteur et les difficultés qui en résultent en termes de contrôle qualité, nous présentons une méthode de détection de variations et changements brusques dans l’évolution d’une grandeur présente dans un processus. Cette méthode est utilisée pour observer des évolutions de grandeurs intrinsèques à un produit en cours de production ou à un processus, évolutions qui ne pourraient être observées classiquement par des cartes de contrôle. Cette méthode automatique, inspirée du traitement de signal, permet de modéliser, d’estimer et de prédire l’état du processus ainsi qu’élaborer un modèle de détection de rupture basé sur des tests d’hypothèse. Ces derniers utilisent l’état prédit et l’état actuel du processus afin de conclure sur la présence d’une variation correspondant à la détection d’un évènement, susceptible de motiver une prise de décision ou d’empêcher un dysfonctionnement dans le processus.



ABSTRACT

A detection method of abrupt variations and changes in the evolution of a greatness in a process is presented. For that, at first the complexity of production processes in the semiconductor industry and the resulting difficulties in terms of quality control are described. The proposed detection method is used to observe changes in intrinsic variables of a product being produced or of a process. These changes could not be observed by classical control charts. This automatic method, inspired from signal processing, allows to model, estimate and predict the state of the process. It also allows to develop a break detection model based on hypothesis tests. These latter use the predicted state and the current state of the process to conclude on the presence of a variation corresponding to the detection of an event. This detection may motivate a decision making or prevent a dysfunction in the process.



AUTEUR(S)
Patrick PUJO, Ikram DOUMANI, Nacer M'SIRDI

Reçu le 13 mai 2015.    Accepté le 14 octobre 2015.

MOTS-CLÉS
détection, rupture, prédiction, ARMA, tests d’hypothèse.

KEYWORDS
detection, abrupt change, prediction, ARMA, hypothesis tests.

LANGUE DE L'ARTICLE
Français

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