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Journal Européen des Systèmes Automatisés

1269-6935
Revues des Systèmes
 

 ARTICLE VOL 36/9 - 2002  - pp.1295-1307
TITLE
A New Method for High Resolution Position Measurement on Long Range

RÉSUMÉ
Les micromachines de haute précision intègrent des actionneurs et capteurs miniatures. Par exemple, une micromachine de positionnement nanométrique de pièces mécaniques requiert des capteurs de déplacement de haute résolution. Dans ce contexte, le principe d'un capteur de déplacement à fibres optiques, d'étendue de mesure millimétrique, pouvant être intégré dans une micro-table de déplacement, est décrit. Les premiers résultats expérimentaux sont présentés dans cet article.


ABSTRACT
With the increase of mini and micromachines, small size actuators and sensors are needed. Moreover, in the context of precise engineering, these devices have to be accurate. Particularly, high resolution sensors are needed to measure nanometric displacements. Based on a fiber optic sensor having a nanometric resolution, the principle of a millimetric range miniature sensor is described in this paper and first results are presented.


AUTEUR(S)
Christine PRELLE, Frédéric LAMARQUE, Pierre-Emmanuel MAZERAN

MOTS-CLÉS
résolution nanométrique, étendue de mesure millimétrique, réseau, capteur de déplacements, fibres optiques.

KEYWORDS
Nanometric Resolution, Millimetric Range, Grating, Position Sensor, Fiber Optic.

LANGUE DE L'ARTICLE
Anglais

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